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泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此，沈阳真空设备生产厂，要****油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。分馏目的是使高蒸气压组分的油不进入高真空工作喷嘴（高真空端的喷嘴）；净化目的是使高蒸气压组分的油在工作过程中不断为前级泵所抽除，使油逐渐趋于纯净。

磁控溅射的种类很多，按所用电源分，沈阳真空设备，可以分为直流磁控溅射、射频磁控溅射、中频磁控溅射。

直流磁控溅射所用的电源是直流高压电源，通常在300～1000V，沈阳真空设备报价，特点是溅射速率快，造价低，后期维修*便宜。

射频磁控溅射所用的射频电源的频率通常是13.56MHz，可以解决直流磁控溅射不能溅射绝缘靶材的问题。

中频磁控溅射常用于反应溅射，来制备金属化合物薄膜，在腔体中除了*气外，另外加入少量反应气体。

温度为20K时，除氦、*和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的****限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的****限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。

类型

低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。①注入式液氦低温泵：主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。