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罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,沈阳真空设备报价,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,沈阳真空设备,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,沈阳真空设备采购,可以实现高转速运行。
磁控溅射镀膜是气象淀积的一种,广泛应用于电子,建筑,汽车等行业中,沈阳真空设备价格,尤其适用于大面积镀膜。
磁控溅射镀膜以其高速、低温、几乎可以溅射任何材料的特点,现在已经成为应用****广泛的薄膜制备方法之一。
磁控溅射镀膜的薄膜均匀性、成膜质量、镀膜速率以及工艺的稳定性和重复性是人们非常关心的问题,而设备的稳定性直接决定了工艺的稳定性。
磁控溅射的种类很多,按所用电源分,可以分为直流磁控溅射、射频磁控溅射、中频磁控溅射。