检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测,对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统,将被检气体抽入到仪器内部,然后将该混合气体离化,并将离子加速送入磁场当中,利用带电离子在磁场中的偏转效应,使氦离子与其它离子分离,通过对此氦离子信号的接收、放大和显示,密封性能测试仪,从而反映出被测器件的密封性。
质谱检漏仪之间使用金属软管连接。检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。测漏压力应不高于设备设计压力的25%,但不低于103MP。设备备保压30分钟后,用扫描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3mm的范围内用吮吸,并应从焊缝底部至上而行。对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,*,不腐蚀零件;。
主要配置:检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。放大器。质谱模块。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。检漏仪主要技术指标:小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s。