氦质谱检漏仪的特点:检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;检测的介质比较常用,密封性测试仪,仅需压缩空气即可;氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴*电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响;检测的数据;自动生成数据保存,可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收*而被检测。
检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。