氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴*电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪的特点:检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收*而被检测。
氦气检漏仪触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
据日本有关文章介绍,日本汽车制造业,已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏,解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,气密泄漏测试设备,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。