氦质谱检漏仪的特点:检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,开关气密性测试,在漏点处喷射氦气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对*或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;
笔者根据实测经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对*或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;
检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对*或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。