检漏仪维修每隔一段时间*油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦检漏仪为*精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用此仪器。使用时,注意观察仪器的运行情况,一旦发现问题(如较大振动、高噪音等),仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源,气密性检测装置,并排除故障。
检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。检漏仪自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射氦气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,*大降低氦气损耗(功能可选);质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收*而被检测。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。