质谱检漏仪之间使用金属软管连接。检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所,连接好检漏用管路及压力表,应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;
检漏仪主要技术指标:小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s检漏仪优势特点:采用便携式设计,设备外型美观小巧,采用液晶触摸屏设计,有通讯接口,可以方便地将检漏数据输出检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对*或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;
检漏仪是如何工作的?检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,防水检测仪,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束Mz恰能通过缝隙S2到达收集*K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。