质谱检漏仪之间使用金属软管连接。检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。测漏压力应不高于设备设计压力的25%,但不低于103MP。设备备保压30分钟后,用扫描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3mm的范围内用吮吸,并应从焊缝底部至上而行。对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,密封测试仪,*,不腐蚀零件;
主要配置:检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。放大器。质谱模块。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。检漏仪主要技术指标:小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
真空检漏的具体方法检漏步骤为:检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰,很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气,由于机械泵运转的振动较大的,法兰螺栓容易松动,波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。