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LPMS CVD 05紧凑型侧式真空气相沉积设备

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真空气相沉积设备是一种用于电子产品防水保护的镀膜设备。工作时把含有构成薄膜元素的化合物(长链性高分子材料,一般为派瑞林Parylene)、单质气体经过升华、热解后进入放置产品的真空反应室,借助空间气相化学反应, 在产品表面上沉积生成0.1-100um厚度均匀,无应力、优异的电绝缘性和防护性防潮、防霉、防腐、防盐雾薄膜涂层。

广泛应用于:航空、电路板、LED 、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵等领域产品的防水封装与保护工艺中

  1. 0.5米不锈钢真空反应罐,坚固镀膜速度快。
  2. 机台一体式设计,结构紧凑,占地小。
  3. 真空管路采用不锈钢连节,方便维护及饱养
  4. 侧开式设计便于取放产品与腔体清洁维护作业
  5. 反应罐内置构使产品在镀膜过程中匀速旋转,镀层更均匀。
  6. 使用数位LED真空计显示工作状况时的真空度。
  7. 操作简易,可依实际需求变换自动 /手动操作模式
  8. 红外线加热圈,加温速度快。
  9. 采用温控装置多段控温,温控今确。
  10. 定时加热、超温报警和自动停止加热等保护功能
  11. 自诊功能和各种故障报警
  12. 选配远程控制和手机APP功能。
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