沈阳真空设备生产厂家-沈阳真空设备-天成【开拓进取】

改进工艺后，沈阳真空设备采购，碎片率从原来的5％减少到3％，加工的晶片厚度可薄至350 μm甚至以下。有时晶片在装卸腔里*裂，除吸盘伸出位置及真空大小需要调节外，另一个不容忽视的就是晶片停留装卸腔的冷却时间。当晶片从沉积腔旋转到装卸腔时，因晶片刚沉积了金属薄膜，表面温度高，热应力大，沈阳真空设备，晶片变形严重，此时卸载晶片容易引起*片，沈阳真空设备谁家好，所以需要适当延长晶片在卸载腔中的冷却时间使之冷却充分。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，沈阳真空设备生产厂家，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三****型溅射离子泵，（或二****型非对称阴****溅射离子泵）对*有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

真空泵油的光滑性

摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等，都与光滑条件有关。表现佳的真空泵油有利于抑止腐蚀磨损；能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损；流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，减少磨损，以延长机械寿命。真空泵油的降温冷却性能：降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用。