沈阳真空设备-诺思【****产品】-沈阳真空设备厂

近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。

目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵，沈阳真空设备报价，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，沈阳真空设备厂，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。

基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以****薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，合适的温度能****薄膜的质量。

磁控溅射镀膜的特点：

磁控溅射镀膜技术通过磁场的加入，沈阳真空设备，改变并延长电子的运动轨迹，使其能与*气充分的碰撞，电离出更多的Ar 轰击靶材，从而****了溅射速率；受到正交电场和磁场共同作用的电子，在能量基本耗尽时，才沉积到基片上，避免了基片的温度上升。

这就造就了磁控溅射的两大优点：溅射速率高，沈阳真空设备厂家，基片温度低。另外，通过磁控溅射工艺得到的薄膜与基片的附着力强，薄膜的牢固度很强。