罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,宁波真空,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。
低温泵
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的****限压力低、抽气速率大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
抽气原理
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到****低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的****限压力,从而达到抽气作用。
真空是一种不存在任何物质的空间状态,真空材料处理,是一种物理现象。在“真空”中,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。
事实上,真空薄膜,在真空技术里,真空系针对大气而言,激光器真空系统,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压强小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。
真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。目前在自然环境里,只有外太空堪称****接近真空的空间。