真空炉_真空_天成【开拓进取】(查看)

气体及控制系统。

*气是进行磁控溅射时应用****广泛的气体。在溅射时，*气的多少直接关系到溅射速率以及溅射的均匀性等，因此需要严格控制气体的进气量，一般用质量流量计来实现控制。

溅射功率的增加会****膜厚的均匀性、溅射速率，真空炉，随着溅射功率的增加，等离子体的面积增大，因此膜层的均匀性会****。功率的*，能*****气的电离度，*溅射出的靶材原子数量，从而****了溅射速率。

射汽式抽气器由工作喷嘴、混合室和扩压管三部分组成。工作蒸汽经过喷嘴时热降很大，流速增高，喷嘴出口的高速蒸汽流，使混合室的压力低于凝汽器的压力，因此凝汽器里的空气就被吸进混合室里。吸入的空气和蒸汽混合在一起进入扩压管，在扩压管中流速逐渐降低，而压力逐渐升高。

对于一个二级的主抽气器，真空炉，蒸汽经过*冷却室冷凝成水，空气再由第二级射汽抽气器抽出。其工作过程与首级完全一样，只是在第二级射汽抽气器的扩压管里，蒸汽和空气的混合气体压力升高到比大气压力略高一点，经过冷却器把蒸汽凝结成水，空气排到大气里。

闭路循环气氦制冷机低温泵：它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，*冷板温度为50～100K，真空，用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，真空炉，用来冷凝氮、氧和*等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500～2500米2／克，在低温下对氦、*和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。