射汽式抽气器的优点是效率比较高,可以回收蒸汽的热量。缺点是制造较复杂、造价大,电子束蒸发设备,喷嘴容易堵塞。抽气器用的蒸汽,使用主蒸汽节流减压时损失比较大。随着汽轮机蒸汽参数的****,使得依靠新蒸汽节流来获得汽源的射汽式抽气器的系统显得复杂且不合理;大功率单元机组多采用滑参数起动,在机组起动之前亦不可能有足够汽源供给射汽式抽气器,所以射汽式抽气器现在在大机组上应用较少。
低温泵
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,安康电子束蒸发,又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的****限压力低、抽气速率大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
抽气原理
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到****低温度的冷板。它使气体凝结,电子束蒸发方法,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的****限压力,从而达到抽气作用。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。
因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
真空(VD)系统是炉外精炼设备的关键设备之一,其主要功能是生产****产品和高附加值产品,电子束蒸发制造,满足市场需求,提高企业的经济效益,真空泵是真空系统的核心部件。