磁控溅射镀膜_诺思【客户至上】_亳州磁控溅射

随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，磁控溅射镀膜，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来****返流，但不能解决问题，亳州磁控溅射，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

真空应理解为气体较稀薄的空间，具体地讲：在空间内，低于一个大气压力的气体状态统称为真空。

真空状态下，气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值来表示真空度的高低。

测量低于大气压的气体压强的工具称为真空计。真空计可以直接测量气体的压强，也可以通过与压强有关的物理量来间接测量压强，前者称为真空计，后者称为相对真空计。

气相沉积技术早在20世纪初已有些应用，但在****近30年迅速发展，成为一门****具广阔应用前景的新技术。

气体及控制系统。

*气是进行磁控溅射时应用****广泛的气体。在溅射时，*气的多少直接关系到溅射速率以及溅射的均匀性等，因此需要严格控制气体的进气量，一般用质量流量计来实现控制。

溅射功率的增加会****膜厚的均匀性、溅射速率，随着溅射功率的增加，等离子体的面积增大，磁控溅射设备，因此膜层的均匀性会****。功率的*，磁控溅射价格，能*****气的电离度，*溅射出的靶材原子数量，从而****了溅射速率。