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由于真空泵的抽气过程是一压缩过程，故当有水蒸气之类的可凝性气体时，如果在排出泵腔前达到其饱和蒸汽压力，红外材料制备系统制造，则会凝结在油中，使泵油乳化变质，润滑密封性能变坏，凝结物在吸气腔中还会重新变成气态，使真空度降低。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片式真空泵的应用非常广泛，以诺思制造的油封式旋片泵为例，凭借真空获取速度快，*，噪音低，忻州红外材料制备系统，易维护等优点，目前它已广泛应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

改进工艺后，碎片率从原来的5％减少到3％，加工的晶片厚度可薄至350 μm甚至以下。有时晶片在装卸腔里*裂，除吸盘伸出位置及真空大小需要调节外，另一个不容忽视的就是晶片停留装卸腔的冷却时间。当晶片从沉积腔旋转到装卸腔时，因晶片刚沉积了金属薄膜，表面温度高，热应力大，红外材料制备系统价格，晶片变形严重，此时卸载晶片容易引起*片，所以需要适当延长晶片在卸载腔中的冷却时间使之冷却充分。