超高真空,新疆真空,天成【开拓进取】

减少碎片的解决方案及措施

从以上分析可知，超高真空，晶片碎片与放电气体流量、溅射沉积功率、加热温度等工艺条件有关。因此在保证其他条件不变的情况下，分别作了以下三个实验加以验证：

(1)减小沉积功率从60％→30％，新疆真空，延长沉积时间；

(2)降低加热温度，300℃→常温；

(3)放电气体压力从15．0 millitorr以上→7．5-8．5 millitorr。

1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴****离子镀、多弧离子镀等。

3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

4、夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。