VARIAN瓦里安VSPR02氦质谱检漏仪

性能指标

PR02

MR15&MD30

性能

前级泵内置式

前级泵外置式及小车

前级泵       油式机械泵

DS-42 2 m3/hr (34 l/m)

DS-302 14 m3/h*2 l/m)

涡卷式干泵

N/A

TS-620 30 m3/h*l/m)

****小可检漏率在1000ppm的氦气背景下

5×10-12atm cc/sec； 5×10-12mbar l/s；5×10-13Pa m3/sec helium

测试口高耐压

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

测试口处对氦气抽速

1.8 l/s

校准程序

自动或手动（内置或外置）

氦本底清零

按键清零，并具有零点*功能

操作界面

高清晰彩显，TFT触摸屏

语言选择

中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语

循环检测

可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点

响应时间

＜1.0秒

设*

标准；5个设*；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点

通讯协议

RS-232通讯借口，9600波特率（9芯窜口）

执行标准

UL，CE，CSA