磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳****,真空腔体表面,微光夜视真空系统,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。其原理是一对靶源互相为阴阳****,真空炉,从而消除阳****表面氧化或氮化。冷却是一切源(磁控,重庆真空,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
真空热处理炉的特点:水冷装置,真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电****)、中间真空隔热门等部件,均在真空、受热状态下工作。在这种****为不利的条件下工作,必须保证各部件的结构不变形、不损坏,真空密封圈不过热、不烧毁。因此,各部件应该根据不同的情况设置水冷装置,以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。
采用低电压大电流:在真空容器内,当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时,真空容器内的通电导体在较高的电压下,会产生辉光放电现象。