远程等离子体源 射频电源 RPS
¥99999999元/件
中国 天津 滨海
产品属性
- 工作频率:
- 2450MHz±500KHz
- 功率稳定度:
- ≤±1% @500W-3000W
- 品牌:
- 富源电
- 加工定制:
- 是
- 型号:
- RPS
- 类型:
- 远程等离子体源
是一种用于产生等离子体的装置,通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺,以及半导体刻蚀和薄膜设备的预处理反应和清洗等。与传统等离子体源不同的是,RPS通常不直接接触要处理的表面,而是在一定距离之外产生等离子体,并将等离子体输送到目标表面,因此被称为“远程等离子体源”。
应用特征
采用新的固态微波源技术【非磁控管微波源】。具有很高的频率、功率稳定性,使用寿命长。
自主开发的微波匹配器,能实现在不同气体条件下,快速进行微波源与等离子体的阻匹配。
等离子体发生器材质可选,适用于多种气体。
体积小、集成度高、便于更换。低颗粒污染;
等离子反应腔设计,适用于多种气体的电离与阻匹配。
系统运行时,气体压力适应范围宽。气体电离率高、电离速度快。
![](https://img3.d17.cc/group5/M03/85/59/AQAAAGa8IDKASjeqAAMtf5IY0aQ499.png)
以上内容为远程等离子体源 射频电源 RPS,本产品由天津吉兆源科技有限公司直销供应。
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