湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
与气体渗氮相比适应范围广泛。可用于不锈钢模具的渗氮,利用离子的轰击作用,可以内动去除不锈钢、耐热钢模具表面的钝化膜,可直接进行不锈钢模具的渗氮。
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?选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双*性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说,离子氮化炉,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。??
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继续提高电压,导致带电离子的增加,放电电流随之上升;当电*间的放电电压大于某一临界值(点火起辉电压)时,放电电流会突然迅速上升,阴-阳*间电压陡降并维持在一个较低的稳定值上。工作气体被击穿、电离,并产生等离子体和自持辉光放电,这就是“汤生放电”的基本过程,又称为小电流正常辉光放电。??