丰派离子渗氮-丰热科技

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双*性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。??

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辉光离子渗氮的特点有：劳动条件有所改善，无公害、离子渗氮处理在很低的压力下进行，排出的废气*1少。气源为氮气、氢气和氨气，基本上无*物质产生。可以适用于各种材料，包括要求氮化温度高的不锈钢、耐热钢，以及氮化温度较低的工模具(工具钢)和精密零件，而低温氮化对气体氮化来说是相当困难的

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辉光放电时，在两个电*附近聚集了较多的异号空间电荷，因而形成明显的电位降落，分别称为阴*压降和阳*压降。阴*压降又是电*间电位降落的主要成分，在正常辉光放电时，两*间的电压不随电流变化，即具有稳压的特性。