运动平台,龙门式三维运动平台,直线电机平台(多图)

ANT95-R 和 ANT130-R 直驱旋转平台是 Aerotech 纳米运动技术产品系列的一部分。我们的旋转平台提供****的静态*稳定性

（0.005 弧秒）和低于 0.01 弧秒的增量运动性能，并提供精度等级

Aerotech ANT-95系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超*的*功能，精度在0.2~0.5um之间。

ant95系列*平台优点：

?几何性能****的气浮导轨

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回馈干涉仪

? 分辨率1nm

? 重复*精度50nm

?亚微米*精度

?XY 和 XYZ 集成系统

?无槽直接驱动电动机

同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台，比如 pro系列，ABL系列等等。

非接触直接驱动

直线电机驱动也能提供高速和加速度的优势。紧凑且大功率的直线电机驱动使ANT130-L平台空载可达到1g的峰值加速度和350mm/s的高速度。产生了明显比*丝杠驱动或业内其他平台更优胜的杰出生产力的*设备。