成分 |
|
纯* |
高纯*气 |
超纯*气 |
单位 |
*气 |
≥ |
99.99% |
99.999% |
99.9999% |
%V |
氢气 |
≤ |
5 |
0.5 |
0.1 |
ppmv |
氧气 |
≤ |
10 |
1.5 |
0.5 |
ppmv |
氮气 |
≤ |
50 |
4 |
0.2 |
ppmv |
*+*+二氧化碳 |
≤ |
5+5+10 |
1 |
0.1+0.1+0.1 |
ppmv |
水份 |
≤ |
15 |
3 |
0.2 |
ppmv |
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