真空管式炉产品特点

编辑可选择进口单设*或40段可编程控制器。安全功能包括可调过温保护及开门切断加热的安全锁系统。节能型的陶瓷纤维材料和双层外壳结构，具有升降温速度快，能耗低。可将外表温度降到常温并使得内腔温度分布均匀。*的加热元件，使用寿命长。选配：带排气口和惰性气体通入口。40段可编程控制器型号可选择RS-485串口，实现计算机通讯。

回转式空气预热器的优缺点：

优点：换热表面上冷凝的酸液量和*浓度不断变化，****腐蚀比管式空气预热器轻；快速流动的空气可以起到一些吹灰作用，减少了积灰；因换热元件连续转动，只一个单孔摆动吹灰器，就可以吹到冷端截面上各个部位的积灰；便于对腐蚀后的元件进行更换或调换放置位置。

缺点是有转动部件，故漏风量较多，能耗大，制造要求较严格，造价较高。

对许多金属和金属合金一个有趣的争论就是，他们是通过物****相沉积(PVD)还是通过化学气相沉积(CVD)能得到****.好的沉积效果。尽管CVD比PVD有更好的台阶覆盖特性，但目前诸如铜的子晶层和钽氮扩散层薄膜都是通过PVD来沉积的，因为现有的大量装置都是基于PVD系统的，工程技术人员对PVD方法也有较高的熟练程度。一些人建议，既然台阶覆盖特性越来越重要(尤其是在通孔边墙覆盖)，CVD方法将成为必不可少的技术。相似的争论也存在于产生低k值介质材料方面：是使用CVD方法好还是采用旋涂工艺好？

在化学气相沉积中，决定晶圆间薄膜均匀性的重要参数之一是晶圆间的气体是如何流动的。上图所示是Novellus概念下Three ALTUS系统中，一个晶圆及其基座上的SiH4集中度和钨沉积率的典型路径图。