晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻注意事项给出如下:
*
*是通过具有所要图形的模版,将图形传递到胶模上。光源一般采用*灯或*氙灯,所发光波长为紫外。对于正胶来说,*使得透光区的大分子链被*,显影的时候这部分被去除;而对于负胶来说,*使得透光区的小分子发生交连,显影时这部分被保留。所以正、负胶对于同一块模版来说,所刻出的图形是互补的。
张家港晋宇达电子科技有限公司
光刻机的匹配使用是指同一产品不同的工艺图层可以分别在不同型号或同一型号不同系列的光刻机上进行光刻,而不影响光刻工艺的质量。亦即保证达到各个工艺图层所要求的套刻精度和线宽控制要求。为达此目标,必须对工艺线上同时使用的光刻机进行各种误差的匹配调整。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻注意事项给出如下:
涂胶
涂胶时要注意将基片放在吸盘正中间,且吸盘水平度较高,否则会影响胶模厚度的均匀性;匀胶时一般先低速旋转将胶模铺开,然后高速决定胶模厚度,一般转速在1000~5 000 rpm。