张家港晋宇达电子科技有限公司

主营:光刻机,尼康步进光刻机,半导体前道设备

温州步进光刻机|步进光刻机|晋宇达

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产品属性

      晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。

光刻注意事项给出如下:

前烘

  前烘的目的是去除胶模中的绝大部分溶剂,增强胶模的光敏性。还可以****胶模的均匀性和黏附性。前烘温度不高,一般为100℃左右。


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性能指标光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、*方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。


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      光刻机/紫外*机(Mask Aligner) 又名:掩模对准*机,*系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.

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