UV光解等离子多元复合一体废气处理装置等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下:
▲电场+电子→高能电子
▲高能电子十分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
▲活性基团+分子(或原子)→生成物+热

▲活性基团十活性基团→生成物十热

从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，UV光解等离子多元复合一体废气处理装置成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合。进而产生臭氧。UV +O2→-十O*（活性氧)O十02→03(臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有****强的氧化作用.对恶臭气体及其它刺激性异味有****强的清除效果。