为了****罗茨旋片真空机组的抽气性能，达到较高的****限真空和****在低入口压力时的抽速特性及对大型真空机组配用较小规格的前****泵，罗茨旋片真空机组也有由二级罗茨真空泵串联的三级机组。

根据被抽真空系统的大小及气体状态，罗茨旋片真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4∶1至10∶1之间，前者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或****限真空情况下工作。本系列罗茨旋片真空机组为了****前级旋片真空泵停机返油，在前级管道上装有电磁放气阀，其动作与前级旋片真空泵的电机联动。

水环泵的选择所谓水环泵就是用水作为液环的液环泵，用水作液环有很多优点，如价廉、易得、不会污染环境等。但也有一个很大缺点，由于水的饱和蒸汽压高，使得水环泵的吸入压力也高。这时如改用饱和蒸汽压低的液体作为液环，则可****泵的****限真空度。如果某机组中罗茨泵大允许的排气压力为10Torr，则用水作液环时还须加大气泵才能作为该罗茨泵的前级泵，若改用矿物油作液环则不加大气泵即可作为前级泵，这样可以简化装置。
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，原理图间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分;抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；****限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。