净化工程检漏方法
常用的是DOP法检漏（即采用DOP溶剂作为尘源，与气溶胶光度计配合检漏），也可用尘埃粒子计数器扫描法来检漏（即采用大气尘作为尘源，与粒子计数器配合检漏）。由于粒子计数器读数为累积读数，不利于扫描，巡检速度慢；另外，在被测****过滤器上风侧，无尘净化工程施工建设，往往大气尘浓度较低，需补充发烟才易发现泄漏，粒子计数器法检漏的的这些不足DOP法恰恰可以弥补，故国外广泛采用DOP法检漏。

建设无尘车间应注意以下几点：

动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以****交叉污染。作业者、化学yao品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。节能原则：无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。

六、建筑装修

1、车间内部隔断采用白色夹心彩钢板，按需要开设视窗，视窗底边高度为1.0m，视窗均采用固定式并保证良好的气密性；

2、洁净区内吊顶高度为2.6m，吊顶材料采用白色夹心彩钢板；

3、车间内部采用洁净车间水磨石地面；

4、洁净区内部吊顶与墙面、地面及各建筑设施间夹角采用R50mm弧形连接。

5、气闸为双门连锁且密封良好；安全门采用无锁外推式，用塑料膜保证其密封性。

6、洁净区内部采用吸顶式洁净灯具；灯具安装固定于吊顶并密封，易于*维护；洁净区内部主要作业室照度大于300Lux

；各辅助间及通道照度为150Lux；

一般区照度不低于100Lux。光源采用节能型白色荧光灯。

7、车间内部各照明线路均穿保护套管敷设于技术夹层内，照明器开关设于洁净

室外，走廊内镶嵌式安装。

8、各设备动力线路采用电缆由配电室引出，穿保护套管布置于技术夹层，就近

使用点垂直引入作业区，进入洁净室部分套管做表面光洁处理。