层流手术室采用全无缝进口塑胶地板、不锈钢墙面，室内墙角全部为弧形结构设计，层流手术室找不到任何一个90°的墙角，使无处藏身，避免了清除不尽的死角，并且室内无须使用物理或化学方法进行消毒，这样既节省劳动又****外来污染的进入。并对其进行定期清洁、维修和更换，严格保证室内空气的无菌；使层流手术室保持低数及低气体浓度。

建设无尘车间应注意以下几点：

动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以****交叉污染。作业者、化学yao品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。节能原则：无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。

材料与仪器

① 尘源（DOP溶剂）；

② DOP发生器[为产生烟雾的装置，DOP溶剂倒入发生器容器后，在一定压力或加热条件下产生气溶胶烟雾被送入****过滤器上风侧（对DOP液体加热，形成 DOP蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，十万级净化工程施工建设，去掉过大和过小的液滴，仅留下0.3μm左右的颗粒，雾状DOP进入风道）；

③ 气溶胶光度计（测定和显示气溶胶浓度的仪器，应注明校验有效期，必须是校验合格且在有效期内的方可使用）；