净化工程洁净室的分类

垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。   缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

净化工程乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式（1）****过滤器顶送（有扩散板和无扩散板）（2）流线型散流器顶送（3）局部孔板顶送（4) 侧送。升旭净化工程公司的此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。 层流式，层流式空气气流运动成一平均之直线型，空气由笼盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。

净化工程洁净室

并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级****为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。    洁净工作台：等级Class 1~100级。     洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用*之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较*之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。