净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级****至10级以上,可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为****适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
我国洁净室行业,目前正值推广阶段。近些年来,各大城市主要陆续新建、改建洁净室,增设或改造了原有的洁净室系统,这是我国经济发展、科技进步和医疗卫生水平****的反映。新建、改建洁净室,****生产环境,****工作效率,是一件很慎重的工作。从当前的技术与经济水平出发,已经具备了实施条件,但是应当在各地卫生主管部门的统筹规划下陆续进行。同时要注意的问题是,近来年在医院洁净室的新建或扩建项目中,某些单位及相关部门往往只把是否已安装洁净室作为惟一的关注点,忽视了洁净室装置的质量问题。因此,洁净技术工程****施工单位来进*院洁净室的设计施工,以确保每一个洁净室的高质量建设。
洁净室的分类
层流式(Laminar): 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回*埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。 优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。 缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。