温湿度 

   洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的*度感。随着空气洁净度要求的****，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

1、生产过程中接触成品的操作必须戴上一次性手套，手套要完整、无*损、不透水，当手被污染后必须按上述洗手消毒程序重新洗手消毒。　

2、控制操作人员自身****物****直接有效的方式为：在生产前换工作鞋、换工作服、戴工作帽、佩一次性口罩，工作衣、帽应穿戴整齐，头发不得露在衣帽外面，禁止涂口红、化妆、喷香水、涂指甲油、佩戴任何饰品、手表等。 　

3、进入洁净室员工，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持*****好状态的观念。

4、员工进入洁净室数目以维持*****小限度为原则（愈小愈好），并须依洁净室进出标准流程进出洁净室。出则相反方向进行，唯不须经缓冲通道或风淋室脱尘处理。 

无尘车间

1. 空气洁净高度的房间或区域宜布置在人员****少到达的地方，并宜靠近空调机房。不同洁净级别的房间或区域宜按空气洁净度的高低由里及外布置；洁净度相同的房间或区域的布置则宜相对集中。洁净度不同的房间之间相互联系时，要****交叉污染的措施，如气闸室、空气吹淋室、缓冲间或传递窗等。

2. 宜尽量减少洁净区域的面积，洁净室内只应放置必要的工艺设备和设施，室内工作人数应控制在*****低限度。同时，还应考虑到使原材料、半成品和成品存放区面积与生产规模相适应。 

3. 根据需要合理布置辅助车间。清洗工具洗涤、存放室、维修*室均不宜设在洁净生产区内；洁净工作服的洗涤、干燥室的洁净等级一般可低于生产区一个级别，而无菌服装的整理、灭菌室，其洁净级别应与生产区相同。