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MEMS 气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

传感器特点

本品采用MEMS工艺，结构坚固，对灵敏度高；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等优点。

主要应用

便携式与固定式监测器；检测仪。