测

在诸如IPA、纯水、药水等的半导体制造工序中

来自1ml / min的微流量测量

通过数字信号处理的微流量*测定

传感器部分是流体非接触结构

广泛的租赁

μf - 300s(传感器分离型)产品规格

型号为μlf - 300s +μlt - 8i(1 / 8)或μlf - 300s +μl - 4i(1 / 4)

超音波

测定液体纯水，各种药水

*水以外的液体的情况请事先确认。

适应流体温度范围15℃~ 80℃

* 60℃以上使用时,请事先确认您

流体压力：0.5 mpa以下

流体黏度：100 mm ^ 2 / sec以下

流量范围

0 ml/min ~ 1000ml / min(μlf - 300s +μlt - 8i)

0 ml/min ~ 4000 ml/ min(μlf - 300s +μlt - 4i)

测量精度±0.5%(1 / 8:200 ~ 1000ml/ min条件:室温，恒温的水)

±1ml/ min(1 / 8):0 ~ 199ml/min

±0.5%(1 / 4):800 ~ 4000ml/ min条件:室温，恒温的水

±4ml/ min(1 / 4):0 ~ 799ml/min

反复性±0 . 2 %(纯液温±0 . 5℃,30秒平均值)

电源dc 24v±10%

耗电3.6 w以下

重量转换器240 g，检测单元70g

尺寸w x h x d(mm)转换器97 x 49 x 127

检测部90x25x 20(不包括内线)

检测部

软管材料PFA(氟树脂)

内胎直径1 / 8寸:3.17 mm,id:2.17 mm,1 / 4寸OD:6.35 mm,id:4.35 mm

结构上的ip65

附属电缆5米，连接器连接

输入/输出部分

数字输出4线式- 422,4线式r -485

模拟输出4 - 20 MA(瞬间流量),负荷抵*500Ω以下

计算脉冲输出1ch(开放库塔)

警报输出1ch(开放的库拉)

接点输入1ch(零流量设定或累计清除)

键入4输入按钮