等离子体用于材料表面改性
主要有以下几个方面:①改变润湿性(又称浸润性)。一些有机化合物表面的润湿性对颜料、墨、粘结剂等的粘结性,对于材料表面的闪络电压及表面漏泄电流等电性能,都有很大的影响。衡量润湿性的量称为接触角。表1中列出一些材料的不同处理对接触角的影响。②增强粘附性。用等离子体活化气体处理一些聚合物及金属之后,可使材料与粘附剂的结合强度得到加强。
要用于以下两方面。
①等离子体表面处理:为了****刀具、模具等的性能,可以用等离子体对金属表面进行氮、碳、硼或碳氮的渗透。这种方法的特点是,不是在表面加一覆盖层,而是改变基体表面的材料结构及其性能。等离子处理机过程中,工件温度比较低,不使工件变形,这对精密的部件很重要。这一方法可以应用于各种金属基体,主要有辉光放电渗氮,氮碳共渗,渗硼。
②等离子体在电子工业中的应用:大规模集成电路片心的生产工艺,过去采用化学方式,批发碎玻璃清洗机,采用等离子体方法代替之后,定做碎玻璃清洗机,不仅降低了工艺过程中的温度,还因将涂胶、显影、刻蚀、除胶等化学湿法改为等离子体干法,碎玻璃清洗机,使工艺更简单,加工碎玻璃清洗机,便于实现自动化,****成品率。等离子体方法加工的片心分辨率及保真度都高,对****集成度及可靠性均有利。