电子束镀膜一氧化硅 速率不稳定是怎么回事

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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1，电子术 束流稳定不？电压稳定不？

2，真空泵抽速稳定不？本底真空能抽到1X10-3 Pa不？

3，你用MFC冲入氧气的流速稳定不？你至少要等气流稳定，真空度稳定个几分钟再镀

4，SiO料有没有被污染，受潮没有。

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电子束蒸发使用安全规范?

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，电子束镀膜仪供应商，硬质涂层设备等。

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1、?实验前确认事项? A、开启液氮；? B、冷却机水箱是否具有足够的水。?2、?装样? A、?拧开样品台上的四个螺母，断开冷却水管，取出样品台；?B、?使用乙醇擦拭样品台与腔体的接口；?C、?装样；? D、?把样品台放入腔体，拧紧样品台的螺母，接上冷却水管。?3、?开机，抽真空? A、打开总电源，开启冷却水机；? B、打开电脑操作软件，启动分子泵以及机械泵。?4、?除气? A、?待腔体内气压低于10-3pa（时间允许情况下真空度尽量 低）；? B、?打开面板电源；?C、?HV降至0V；? D、?CoM设置为Filament?Current;?E、?Pocket?1设置为Enable；? F、?逐渐****Filament?Current至1A，注意不要使真空度降低 过快；? G、?将Filament?Current降至0，关闭Pocket?1。? 5、?镀膜? A、?HV升高至2?kV；? B、?CoM设置为HV?power；? C、?逐渐****其中HV?power（视工艺参数而定），同时注意不要使 真空度降低过快；? D、?打开蒸发源挡板，稳定5分钟；? E、?打开样品台挡板，正式镀膜，记录镀膜开始时间；?F、?关挡板，记录结束镀膜时间，降低HV?power至0?w，然 后降低HV至0?V（注意降低的顺序不可颠倒）；?G、?冷却30分钟。?6、?取样? A、?关闭分子泵以及机械泵，关闭冷却水机；? B、?待分子泵转速低于2000rpm，若电磁阀为自动开启需手动 开启，拧开样品台螺母，通入氮气至样品台可取出（勿正对玻璃观察窗）；? C、?断开冷凝水管，取出样品台，取样；?D、?将样品台放入腔体，接上冷凝水管。?7、?关机? A、?关闭总电源；? B、?关闭计算机（勿忘记关闭电磁阀）

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镀膜室的清理和蒸发材料的安装:

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，电子束镀膜仪，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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镀膜室的清理和蒸发材料的安装:

3、将操作旋钮旋置于“磁力充气阀”，对钟罩进行充气。

4、待充气完毕后，将旋钮置于“钟罩升”，钟罩将会升起，当钟罩上升到适当位置时，将旋钮置于“关”，钟罩将会停止升起。

5、使钟罩绕立柱旋转移开，小心取下弹簧卡圈以及观察窗内侧玻璃，用钢丝球除去玻璃表面的铝镀层，并用水清洗。玻璃水清洗干净后，用吹风机吹干。吹风机应使用冷风，且倾斜着对着玻璃，****损坏吹风机和玻璃。将吹干后的玻璃安装在观察窗内侧，并用弹簧卡圈固定。

6、清理镀膜室，将镀膜用的玻片用胶带粘贴在支架上，并将蒸发材料(本次实验蒸发材料为铝片)螺旋缠绕在编号为3、4处的钨丝上，再旋转挡板挡住蒸发源。

7、将旋钮置于“钟罩降”，使钟罩能与底座对齐完全密封。下降过程中要****钟罩不正与支架等发生相碰、刮擦，且注意手不会被压伤。钟罩下降后，将旋钮置于“关”。

抽真空:

8、旋钮置于“机械泵”，并打开复合真空计，拉低阀使用“测量2”接通低真空测量监测钟罩内的气压变化，等待指针半偏，即真空镀膜机内压强下降到5Pa。

9、将旋钮置于“轰击”，接通轰击电路，将轰击电流调至200mA，轰击2分钟，并使用“测量1”检测压强变化。轰击使得室内分子电离，电子束镀膜仪厂家*，气压先升高后降低，透过观察室内观察可见室内呈紫色，有白点闪过。

10、轰击2分钟后，将电流调至0mA，并将旋钮置于“机械泵、扩散泵”，同时水笼头通冷却水，推低阀使用“测量2”，预热30分钟后开高阀。

11、待指针满偏到达0.1Pa后，切换量程接通高真空测量。过10分钟后，打开灯丝电源，待气压达到2×10-2Pa即可开始镀膜。

镀膜:

12、镀膜开始，接通蒸发源电****，旋钮置于“烘烤蒸发”，调节蒸发电压使得电流达到80A。蒸发时可根据钨丝的色温改变电流值的大小，且由于蒸发时钨丝温度升高电阻值升高，应不断调节保证电流值不变。

13、透过观测窗，当发现铝片开始熔化时旋转移开挡板，使铝蒸发上去。待钨丝上有黑色残留(氧化铝)时，电子束镀膜仪哪里有，旋转挡板挡住蒸发源，并降低电压使得电流变为0A。

14、接通另一蒸发源电****，重复步骤12、13。蒸发结束后，关蒸发，旋钮置于“机械泵”。

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