净化工程分体空调柜机 FFU送风口：

这是的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口（带初效过滤网）；FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

优点：A.不需要占用机房面积，布置很灵活；B.可以满足空气的洁净度；C.造价。如300m2的无尘车间初*约需要40万；D.送风均匀度好。

缺点：A.温湿度控制较差；B.可以满足空气的洁净度；C.FFU的维修频率高。

总结

对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根绝以往经验，手术室净化，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案；对于要求不高的，又要初*的，可以选用柜机 FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。

防静电，保护产品：

这是控制静电的三个步骤的后一步。在微电子生产的净化室内，为了防止静电敏感元器件、PCB发生ESD，一种方法是为元器件提供适当的接地或分流，手术室净化标准，以“消散”产品上的静电电荷；另一种方法是采用适当的包装方法和材料来处理静电敏感元件的包装和运输。这些材料能有效地保护产品不受电荷*，减少产品在包装箱内移动产生的静电。

在世界范围内，半导体、平板液晶显示器和光电子技术发展迅速，集成度更高，层流手术室净化，芯片线径更细，*静电要求更高。美国ESD学会已开始修订ansesds20.20-1999《ESD控制程序》，并对ssd的ESD敏感度分类进行了一些修改。

以上是手术室的静电净化控制，它对部件的使用者，无论是在人员还是设备制造过程中，都会发出警告，告诉你所需要的环境控制要求。如果EPA区域的允许电压达到25V，恐怕我们现有的防静电设备、设备、工具和工程都要经过很多艰苦的工作。

可用分布定律描述随机原因和随机过程，应用较广的是正态定律，它近似于空气中粒子的实际分布，果洛手术室净化，正态定律取决于两项参数：平均值（数学）恒温恒湿实验室

当S／Xa=0 (S-O)时，数值不再是随机的，而是确定的，严格一定的。

当sgt;o时，粒子浓度为随机值。

随着S／Xa的*，随机因素的影响也增长，为了把这一因素考虑进去，便要计算95%置信上限。

作者提出另一种可供选择的方法，它不需要计算每一次取样的95%置信上限，我们称之谓“备用系数”法，备用系数Kz可用来考虑测试结果的统计误差。

r oc T P HC0 14644-1规定的统计方法是以对取样数据进行95%置信上限计算作为依据的，并要将求得的数值与按表9.1采用的粒子允许浓度Cn进行对比。