无尘车间注意点1无尘车间

5、材料

作为无尘洁争室顶棚，墙面和地板的材料必须是不宜裂开、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还必须考滤材料的化学性能是否稳定。

6、压力和气流

为了保证房间的无尘车间洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压，为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。

7、辅助设备

必要时还得安置一些辅助设备：如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等，这些设备必须适合房间的要求，并且必须*了解其功能。

无尘车间净化工程应用中的常用参数无尘车间

5、电机功率

符号：N

标准单位：Kw（千瓦）

其它常用单位：HP（匹）

1HP=0.735kw

6、风机尺寸

单位：英寸（俗称寸）；毫米（mm）

1英寸=25.4mm

风机尺寸通常指直径，如：9〞和225，一般风机的直径与长度是相等的，比如型号：A9-9（前面那个数为直径，后面的为长度）

7、电机、风机的转速

符号：rpm

单位：转/分钟

风机的转速约1000 rpm较多，通常小型号的风机转速较高，大型号的较低；电机的额定转速：1450 rpm（4*），2900 rpm（2*），90 rpm（6*），720 rpm（8*）。

无尘车间工程的气压规定1无尘车间

湿度过高产生的问题更多。净化设备相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产无尘车间佳温度范围为35—45%。

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