设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级,增加*过滤器。净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻*工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高。除了在生产领域,净化工程施工,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,黄山净化工程,、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,手术室净化工程,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,净化工程公司,每间用室相互*,净化工程的面积应在保证基本要求前提下,与生产规模相适应。
净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻*工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。地面可采用环氧自流坪地坪或*塑料地板,有防静电要求的,要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板,不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间灯具。