一般来说，硬度和机械强度较高的材料，往往有较高的绝缘强度。比如，钢电*在淬火后硬度提高，其击穿电压较淬火前可提高80%。此外，击穿电压还和阴*材料的物理常数如熔点、比热和密度等正相关，即熔点较高的材料其击穿电压也较高。对比热和密度而言亦然。这一问题的实质是在相同热能的作用下，材料发生熔化的概率越大，则击穿电压越低。

真空区域的划分没有统一规定，我国通常是这样划分的：粗真空：(760～10)托，低真空：(10～10-3)托，高真空：(10-3～10-8)托，真空泵价格，超高真空：(10-8～10-12)托，*高真空：10-12托，托和帕的关系：1 托=1 毫米柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。真空区域的特点不同其应用也不同，例如吸尘器工作于粗真空区域，暖瓶、灯泡等工作于低真空区域，螺杆式真空泵，而真空开关管和其它一些电真空器件则是工作在高真空区域。

电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。当泵出现故障时，泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，合肥真空泵，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器，有按钮控制，无油立式真空泵，可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主按钮操作。