氦质谱检漏方法比较多，根据被检件的测量目的可以分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法，要以被检器件的具体情况而定，灵活运用各种检漏方法。检漏仪全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，电力行业检漏厂，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。消费者在选购氦质谱检漏仪时确保这种产品能够提供更加简单的维修效果，利用这种氦质谱检漏仪才能够更好的保证设备的操作能够得以保证，也能够立足于这种氦质谱检漏仪打造更好的检测效果。

氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。对检漏方法的要求：检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无*性，使其广泛应用。

于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。