无尘车间
复合式(MixedType)：复合式是将乱流式及层流式予以复合并用，可提供局部超洁净空气。●无尘车间洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，洁净净化工程，以避免机器维修时影响了工作及品质，超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

无尘车间
层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成均匀的直线形，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用，一般其无尘室等级为Class1~100。其型式可分为二种：?无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，车间净化工程，由对边墙壁的回风系统回风，灰尘随风向排出室外，一般下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

空气洁净度分级标准：IOS14644-1（*）空气洁净度分级标准：GB/T16292-1996（中*准）三、无尘室标准分类gt;gt;gt;乱流式(TurbulentFlow)：空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1，净化工程设计，000-100，金华净化工程，000级的。优点：构造简单、系统建造成本低，无尘室扩充比较容易，在某些特殊用途场所可并用无尘工作台，提高无尘车间等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间*浮不易排出，易污染产品。另外若系统停止运转再，欲达要求的洁净度，需耗时相当长一段时间。

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