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R1R2R3基团可以是不同的烃基基团，因此可组合成多样的硅醚。硅醚化合物在保护基化学当中有非常广泛的应用，常用的硅醚有：三硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。

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CN201210187164.0公开了三硅咪唑的制备工艺，具体步骤为：(1)反应：首先在搅拌釜内投入三一氯，然后在搅拌下分批添加咪唑，要求在3小时内添加完成；反应在-200~0mm柱下进行，散水*工厂，温度控制在60℃以下。

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性质：具有Si—O—C链的一类化合物，浙江散水*，通式为R3SiO—R′，其中R=CH3为常见。由醇(或醇钠)与氯反应或者由醛、酮与R3SiZ(其中Z=Ar，CN，散水*哪家好，CH2CN，CH2CO2Et等)反应而得。热稳定性好，温和条件下水解又易于制备，故常用于保护羟基、羰基或者作为衍生物讲行质谱或气相色谱分析。硅烯醇醚(silylenol ethers)，在有机合成中有很多用途。

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