光刻掩膜版材质可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和苏打掩膜版为高校和科研院所光刻时所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃为基板材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整和*,使用寿命长,主要用于掩膜版
使用苏打玻璃作为基板材料,光学透过率较高,热膨胀率相对高于石英玻璃,平整度和*性相对弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,光刻版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
网点:网点是组成印刷图案的*小单位。凹版网点由于制版方式的不同,版辊上所反映的网点也有所差别:电雕雕刻网点随着网成的变化,网点的大小和深度也跟随着变化;涂布腐蚀网点随着网成的变化,只在网点大小上变化;激光版网点不同网成的变化一般则表现在网点深度上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boa*,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。