超精密加工技术不断更新，精密零件加工定做，加工精度不断提高，各国之间的研究侧*有所不同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同的。加工变质层的化学性质活泼，精密零件加工报价，易受腐蚀，所以从提高零件耐腐蚀能力的角度出发，要求加工产生的变质层尽量小。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统和计算机控制等各种*技术获得的。

高的精度与高的效率精密加工和超精密加工虽能获得*高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。探索能兼顾效率与精度的加工方法?成为超精密加工领球研究人员的目标。如半固着磨粒加工、电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。运用刀库对数控系统的本钱上来讲很简单，但主轴和刀库、空压机以及各种刀柄等会增加本钱，而且编程、调整刀库也要*费相应的时间。所以，关于消费量同一种类不到一二百个的工件尽量不要运用加工中心，本钱高的、效率低。

加工精度以纳米，甚至终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，切削加工方法已不能适应，需要借助*加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，精密零件加工，使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。