对洁净室的建造成本进行分析具有一定的现实意义。洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控。

在中国，洁净技术的起步和奠基阶段是六十年代初至七十年代末。1965 年，六安净化工程，由中国建筑科学研究院空气调节研究所和蚌埠绝缘材料厂等单位研制完成带波纹隔板的高1效空气过滤器通过鉴定，标志了我国洁净技术开始正式起步。

对洁净度要求低的无尘室工程，有时换气次数决定于室内排热的要求。以上因素，皆很难量化，只能分析对比并估计。因此在工程应用中，对无尘室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值，药厂净化工程，再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。气流速度用于单向流无尘室；非单向流无尘室宜用换气次数，因为其气流速度难于测准；亦有用末级过滤满布率来反映的，净化工程公司，可用于各种气流流型的无尘室。

室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响*。以上情况可以引用的图1a～1c看出。 作图有关数据：新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3 室内发生量:G1=350个/m3.min G2=3500个/m3.min *=35000个/m3.min G4=350000个/m3.min 新风量对于全空气量的比率0.03 当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的无尘室工程。