高纯气体输送
重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ，管道 氮气置换， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ，管道氮气置换， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 *和精力 ， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ，管道氮气置换， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
氮气推动清管器回油技术在输油管道改造中的应用
1．1 氮气源的选择 氮气 源 的选 择直接 影响 回油过程 的实施 ，氮气 源 采用氮气瓶 组、制氮车现场制氮、液态氮气化 3种方式 获取 。氮气瓶 组便于运 输 ，使用 方便 ，但存 储量较 少， 回油 压力较 小，适用 于短距离 、小管径 ，用氮 量小 的管道 回油 ；制氮 车制氮量大 ，能够保 障大型施工氮气 需求 的连续性 ，但压 力小 ，适用 于大管径 、压 力较小 的管道 ； 液氮车 、气化器 、加热炉 配套使用 ，可 以保 持较 高的氮 气压 力 ，适用 于大 管 径、压 力较 大且 需要 氮气 量 较大 的管道 ]。 1．2 推动清管器所需注氮压力 计算管道注氮压力需要计算管道总压降，分为 以 下两种情 况 。 (1)当不存在翻越点时 ，管道总压 降H 为： 式 中： 为输 油管道 水力坡 降；L 为回油终 点到注氮 点 的距 离，km；Zz为 回油终点 的高程 ，m； 为 注氮 点的 高程，1TI； 为输油管道的沿程摩阻系数：D为输油管 道的直径，1TI； 为油品在管道中的流度，m／s；g为重力 加 速度 ，m／s。 注入 氮气后 ，管道 内充满气 体，高差 会发 生变化 ，注氮压 力也会 随时发生变化 ，故此处取注氮压力 。 (2)当存在翻越点时，管道总压 降 为 ：式 中： 为翻越 点的高程 ，m。 注入氮气后 ，管道 内充满气体 ，高差变化为翻越 点 高程与点 高差之差 。 根 据式 (2)， 越大 ，i越大 ，从而 需要 的注氮压力 越 大，需要的氮气量越多 。选择速度时 ，应综合考虑管 道允 许停 输 的时 间及经 济 因素 。由于注 氮压 力 的变 化，流速也在不断变化，流速需要通过注氮压力、流量 以及管道单位管容进行计算，先通过高程差预估注氮 压 力，长输管道氮气置换，再通过注氮流量 与管道 单位管容预估 出流速 ， 后进行数据 的微调 。 对 于一条给 定的长输管道 ，L、D、 已知，而水力 摩阻系数 未知 。 计算 的公 式有理论 公式、经验 公式及 半理论 半 经验 公式 。不 同学者根据 实验条件 、实验数据 总结 出 不 同的 计算公式，计 算结果 非常接近。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的*数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是*气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；*个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有*体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有*体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对*危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动*控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些*装置都将确保人员不会有*上的顾虑。
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